FSH-EBP係列

       FSH-EBP泵係統是廣州（zhōu）飛（fēi）升精密自主研（yán）發設計,全（quán）新推出的集高效率、高（gāo）精度、高穩定性、全數控於一體的智能型注液泵（bèng），適用於光刻膠、鈣鈦礦等塗布領域。

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① 泵係統型號（hào）

舉例說明:

FSH-EBP100：吐出流量範圍為（wéi）0.1-100ml，標準型EBP泵係統。

產品（pǐn）應用：

•  晶圓塗覆（fù）

•  藥液的填充、稱量和混合

•  狹縫塗布

•  光（guāng）刻膠塗布

•  磁盤塗覆

塗布工（gōng）藝介紹：

工藝目的：在精密石英基底上獲（huò）得均勻（yún）、無缺陷的（de）光刻膠膜層，為後續的光刻/刻蝕工序做準備。

定量點膠——使用廣州飛（fēi）升（shēng）EBP30高精度定量泵，將光刻膠（jiāo）精準滴（dī）注於（yú）石英基底中心位置。

產品用途——衍射光柵的高端應用領域

經（jīng）精密塗（tú）覆與光刻（kè）工藝製造的產品，已廣泛（fàn）服務於以下前沿領域：

高功率激光係統：用於（yú）慣性約束聚變（激光核聚變）中的（de）脈衝壓縮（suō）光柵，以及飛秒超快激光（guāng）脈衝的調節與壓縮。

AR/VR 增強現實：作為衍射光波（bō）導核心元件，將微顯示器畫麵高效耦入人眼，實現（xiàn）虛實融合的沉浸（jìn）式（shì）體驗。

精密測量與傳感：超高精度位移測量與光柵編碼器，廣泛應用於半導體晶（jīng）圓對位等（děng）極端精密製造設（shè）備。

激光分束與整形：將單束激光分成多束，用於並行激光加工（gōng）、激光醫療美容及光通信等多元（yuán）應用（yòng）。

塗膠顯影（yǐng）工藝流程（chéng）總（zǒng）覽：