在（zài）半（bàn）導體光刻膠塗覆、鈣鈦礦光伏等高端精密流體輸送場景中，日本小金井（KOGANEI）、易威奇（IWAKI）計量泵長（zhǎng）期主導（dǎo）市場。但受出（chū）口管控、供應鏈限製等影響，進口泵麵臨采購困難（nán）、供貨不穩定、售後（hòu）響應滯後等問題，嚴重製約國內半導體、光伏（fú）企業（yè）產線穩定與產能擴張。

廣州飛升深耕精密流（liú）體控製領域近20年，自主研發的FSH-EBP 係列高精度計量泵，全麵對標進口泵性能，可 1:1 無（wú）縫替（tì）代小（xiǎo）金井、易威奇產品（pǐn），為半（bàn）導體、鈣（gài）鈦礦等高端製造領域提供安全、穩定、自（zì）主可控的國產（chǎn）解決方案。

一、FSH-EBP 係列核心優勢：全麵（miàn）對標進口，性能（néng）更適配國（guó）產產線

（一（yī））極致精度與重複性，築牢納米級工藝基礎

針對（duì）光刻膠塗覆（fù）膜厚誤差≤±5nm 的嚴苛要求，FSH-EBP係列實現頂尖精（jīng）度控製：

1. 吐出量重複精度≤±1%，保障每片基底光刻膠量高度一致，從源頭控製片間膜厚誤差；

2. 1μL 超高分辨率，精準適配衍射光柵等小尺（chǐ）寸基底微量點膠需求，避免膠液浪（làng）費或過量（liàng）；

3. 無脈動單次輸送，穩（wěn）定供液壓力杜絕壓（yā）力波動導致的膠量不均，確保每一次出液量完（wán）全一致。

（二）全範圍流量與粘度適配（pèi），覆（fù）蓋全工藝場（chǎng）景

FSH-EBP 係列完美匹配（pèi）光刻（kè）膠、鈣鈦礦漿料等多樣流體特（tè）性：

1. 粘度適配範圍 0-300Cp，可穩定輸送不同（tóng）型號、不同用（yòng）途的光刻膠，無堵塞、無波動；

2. 流（liú）量範圍 0-10mL/s、單次吐出量（liàng） 0-30mL/s，根據生產效率、基底尺寸、所需膜（mó）厚靈活調節，適配研發到量產全流程。

（三）高潔淨度與耐（nài）腐蝕性，守護高純工藝介質

針對半導體級介質要求，FSH-EBP 係列從材料到（dào）結構全麵優化：

1. 接液部（bù）采用SUS316、PTFE、PFA 等高純材質，耐受光刻膠中（zhōng）強化學溶劑，無溶（róng）出、無汙染，保證膠液純度；

2. 超光滑（huá）PFA液管 + 極小接液部表麵積，幾乎杜（dù）絕粒子產生，避免顆粒汙染導致的塗（tú）覆缺陷；

3. 豎管狀泵腔設計，無液體滯留死角（jiǎo），確保始（shǐ）終吐出新鮮藥（yào）液（yè），避免溶液殘留變質。

二、FSH-EBP 係列在（zài）半導體 / 鈣鈦礦領域的典型應用

（一）光刻膠定量點膠工藝

使用廣州飛升 FSH-EBP30 高（gāo）精度定量（liàng）泵，將光刻膠（jiāo）精準滴注於（yú）石英基底中心（xīn）位置，配合勻膠機高速旋轉，通過（guò）離心力將光刻膠均勻鋪展，形成納米級厚度薄膜，為後續光（guāng）刻 / 刻蝕工序做好準備。

（二）鈣鈦礦（kuàng）光伏漿料（liào）輸送

適（shì）配鈣鈦礦漿料高粘度、高潔淨度（dù）要求，FSH-EBP 係列可穩定輸送漿料，完美匹配鈣鈦礦電池塗布、印刷（shuā）等（děng）工序（xù），保障漿料均勻性（xìng）與一致性，助力（lì）提升電池轉換效率。

三、選擇飛升 FSH-EBP 係（xì）列替代進口品牌核心原因

1. 相比進（jìn）口泵（bèng），FSH-EBP 係列在供應鏈安全、產線適配性、綜合成本、服務響應上優勢顯著：

2. 國（guó）產自主可控，現貨供應無斷供（gòng）風險，徹底解決進口泵采購困難的問題（tí）；

3. 專為國內半（bàn）導體、光伏產線優化，1:1 無縫替代進口泵，無需對產線進行大幅改造，適配性（xìng）更優；

4. 采購成本與綜合維（wéi）護成本大幅（fú）降低（dī），同時本土服務團隊響應迅速，可快速提供（gòng）現場調試（shì）、定製（zhì）化方案等（děng）支持；

5. 依托國內頭（tóu）部行業驗證經驗，產品穩定性與成熟度已獲市場認可，可最大程度保障產（chǎn）線穩定運行。

廣州飛升精密（mì）設備有限公司深耕精密流體控製（zhì）領域近 20 年，公司（sī）產品已批（pī）量覆蓋鋰電（diàn）前 30 強絕大多數客戶，並成功拓展至半導體、光伏等高端製造領域，可為客戶提供（gòng）從產品研發、定製化設計到現場調試、售後運維的全流程解決方案。

FSH-EBP 係列高精度計量泵作為公司核心國產替代產（chǎn）品，已通（tōng）過多家半導體頭部企業量產線驗證（zhèng），全麵（miàn）替代小金井（jǐng）、易威奇等進口泵，為國內（nèi）高端製（zhì）造（zào）產業自主可控提供堅實支撐。

如需獲取 FSH-EBP 係列產（chǎn）品詳細參數、替代方案（àn）及現場（chǎng）測（cè）試（shì）案（àn）例，歡迎聯係17·c18起草视频.27。