在半導（dǎo）體（tǐ）應（yīng）用（yòng）中，光刻膠塗布生（shēng）產環節受國外技（jì）術壟斷，且傳（chuán）統進口設（shè）備存在的流（liú）量波動、維護成本高等缺陷。廣州飛升精密設備有（yǒu）限公司憑借多年的技術積（jī）累與不（bú）斷的創新，成功研發出可用於半導體光刻膠塗布的（de）注液泵（bèng）——FSH-EBP係列注液泵。

廣州飛升精密設備有限公司作為一（yī）家專注於流體精量控（kòng）製係（xì）統及解決方案（àn）的高新（xīn）技術型企業，始終將研發創新作為企業發展的重要驅動力。在深度了解光刻膠塗布生產工藝的需求後，公司研發團隊投入大量（liàng）精力，經過無數次的試驗與優化，成功推出這款自主研發的FSH-EBP注液泵（bèng）。

這款注液泵采用（yòng）獨特的高精度計量技術（shù），能夠實現對光刻膠的（de）精確輸送，確（què）保在塗布過程中，光刻膠的用量恰到好處，誤差控製（zhì）在極小範圍內。在穩定性方麵，運行平穩，可有效避免因泵（bèng）體震動或流量波動而對光刻膠塗布質量產（chǎn）生的不良（liáng）影響。無論是長時（shí）間連續工作，還是在高精度要求的複雜工藝中，都能始（shǐ）終保持出色的（de）性能表現。

這（zhè）款自主研發（fā）的注液泵打破了（le）國外半導體在該領（lǐng）域的長期壟斷（duàn）。以（yǐ）往，國內企業在光刻（kè）膠塗布生產中，不得不（bú）依賴（lài）進口設備，不僅采購成本高（gāo），而且在技術服務、設備維護等方麵（miàn）也受到很多（duō）限製。如今，廣州飛升的注液（yè）泵為國（guó）內企業提供（gòng）了可靠（kào）的國產替代方案，降低了企業的生產成本。同時，也為國內半（bàn）導體產業的自主可控發展提供了有力支撐。

廣州飛升精密設備有限公司自（zì）主研發的注液泵，除了在光刻膠塗布生產領域展現出強大的實力與潛力外，其主要技術已成功移植到鈣鈦礦太（tài）陽能電池塗布、固（gù）態電（diàn）池塗（tú）布等（děng）新興領域，為新能源產（chǎn）業的材料塗覆工藝提（tí）供了通用型解決方案。

該款（kuǎn）產品還可用（yòng）於如下應用場景：

·  要求高重複精度（dù）和直（zhí）線型的（de）用途——定量（liàng）性能（néng）重視型

例（lì）：晶圓塗覆；藥液的填充、稱量、混合

·  要求從塗覆開始到結束的膜厚均勻性（xìng）的用（yòng）途——定流量重視型（xíng）

例：狹縫塗布；磁盤塗覆（fù）